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ブラウズ : 著者 本山, 慎一

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2024年11月原子層堆積法によって形成したHf酸化膜の結晶相制御とその電気的特性田岡, 紀之; 本山, 慎一; 小林, 貴之; 中村, 昌幸; TAOKA, Noriyuki; MOTOYAMA, Shinichi; KOBAYASHI, Takayuki; NAKAMURA, Masayuki
2024年11月原子層堆積法によって形成したHf酸化膜の結晶相制御とその電気的特性田岡, 紀之; 本山, 慎一; 小林, 貴之; 中村, 昌幸; TAOKA, Noriyuki; MOTOYAMA, Shinichi; KOBAYASHI, Takayuki; NAKAMURA, Masayuki
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